金融界2025年4月5日消息,国家知识产权局信息显示,广州新锐光掩模科技有限公司申请一项名为“光掩模中间隙检测方法及光掩模检测设备”的专利,公开号CN 119758674 A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请提供一种光掩模中间隙检测方法及光掩模检测设备,包括:根据光掩模曝光文件获取设计图形中芯片之间的关键特征;若关键特征满足预设参考值条件,则检测出正常间隙;确定正常间隙对应的间隙区域,并生成间隙区域的坐标文件;以便坐标文件被导入检验机台后,机台检测除坐标文件对应区域以外的其他区域。通过提供了一种利用数据处理方法产生光掩模GAP区域坐标的技术。该方法针对由数据处理引起的各种GAP进行处理,显著减少了光掩模的检验时间,提升了光掩模制造的良率。通过自动识别和处理GAP区域,本发明有效地优化了光掩模制造流程,保证了生产效率和质量的提升。

天眼查资料显示,广州新锐光掩模科技有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本236000万人民币,实缴资本216000万人民币。通过天眼查大数据分析,广州新锐光掩模科技有限公司参与招投标项目341次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息37条,此外企业还拥有行政许可62个。

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